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作者csddd.bbs@ptt.cc (csddd) 看板: physics
標題Re: [問題] photo-CVD
時間批踢踢實業 (2007/10/06 Sat 10:03:11)
※ 引述《ohohyesyes (花哈哈)》之銘言:
: 在長SiO2的方法,我看到有用photo-CVD這種方法長
: 請問photo-CVD和一邊其他方法的CVD有什麼不同
: 文獻上說可以得到比較hogh quality SiO2 layer
: 為什麼呢?
: 不知道板上的人知道嗎?
: 謝謝! 


        不要理它。

        因為用啥麼方法做實驗的人就會在 paper 上面說那種方法

        的優點。

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