轉信站: GIBBS!ccnews.ncku!news2!Spring!ctu-peer!ctu-reader!news.nctu!ptt
Origin: sally.csie.ntu.edu.tw


不好意思讓小弟在此撒野

因為工作的需要有接觸到半導體乾式蝕刻設備

但老板突然要我向他解釋氣體放電及電漿為啥能發光及蝕刻的原理

並且要做成報告,小弟非理工科系畢業,這幾天在書局找了一堆理工相關的

書籍,包括莊達人寫的半導體技術概論等,我依然看不懂他的解釋方式

有人可以指點一下迷津嗎

我知道電漿涵蓋頗廣,牽扯到很多概念,因為我自己也看得快吐血........


P.S

我捫的設備是採用空氣及RF放電方式產生電漿......有兩種

ㄧ個叫電感耦合式電漿(ICP)
ㄧ個叫電容耦合式電漿(CCP)


--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 61.231.105.56